TS：帶Z軸上輪廓掃描輪廓測(cè)量系統(tǒng)
花崗石底座帶T型槽和電動(dòng)Y/R升降工作臺(tái)
恒定動(dòng)態(tài)速度控制，無論傾角大小，都保持測(cè)量點(diǎn)距一致。
模塊化設(shè)計(jì)的擴(kuò)展功能。可升級(jí)：雙向輪廓模式，粗糙度測(cè)量。
TS-X：輪廓粗糙度測(cè)量系統(tǒng)
采用空氣軸承，X軸向靜態(tài)接觸和測(cè)量，全量程都可以測(cè)量輪廓和粗糙度
TS-XL：TS-X的升級(jí)版，立柱高達(dá)550 mm，承重50kg
TS-X Move：大型和重型工件測(cè)量站，工件直徑1200mm，承重150 Kg
粗糙度選項(xiàng)：
l 評(píng)價(jià)表面粗糙度的軟件選項(xiàng)，可評(píng)價(jià)粗糙度參數(shù)見下表
l 通過參考測(cè)量來測(cè)量表面粗糙度
l 輪廓和粗糙度測(cè)量可以結(jié)合在“MultiContour”功能中，并與雙向輪廓功能結(jié)合使用
l 此功能可集成到自動(dòng)測(cè)量功能中
機(jī)型 | CV-120 | CV-300 | TS/GS | TS-X(HD)/GM-X | TS-XL | TS-X move |
功能參數(shù) | ||||||
X軸量程 | 120 mm | 300 mm | 300 mm | 350 mm | 360 mm | 360 mm |
Z軸量程 | 30 mm | 100 mm | 375 mm | 280 mm | 550 mm | 550 mm |
測(cè)量系統(tǒng) | 數(shù)字 | 數(shù)字 | 光柵 | 光柵 | 光柵 | 光柵 |
輪廓測(cè)量 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
雙向輪廓測(cè)量 | - | - | ● | √ | √ | √ |
X軸向左測(cè)量 | - | - | √ | √ | √ | √ |
X軸掃描 | - | - | - | √ | √ | √ |
測(cè)量速度 | 0.03-1.75 mm/s | 0.1-0.3 mm/s | ||||
速度自動(dòng)優(yōu)化 | - | - | √ | √ | √ | √ |
數(shù)據(jù)處理 | 數(shù)字 | |||||
導(dǎo)軌 | 機(jī)械 | 氣浮軸承 | ||||
分辨率 | 0.01 μm | 0.01 μm | 0.001 μm | 0.001 μm | 0.001 μm | 0.001 μm |
工作臺(tái)承重 | 30 Kg | 75 Kg | 35 Kg | 25 Kg(50 Kg HD) | 50/100 Kg | 150 Kg |
數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
電動(dòng)Y工作臺(tái) | - | - | ● | ● | ● | ● |
圓柱螺紋評(píng)價(jià) | - | - | ● | ● | ● | ● |
圓錐螺紋評(píng)價(jià) | - | - | ● | ● | ● | ● |
X軸誤差(μm) | ±(1.2+2Lx/25) | ±(1.0+Lx/25) | ±(0.75+Lx/100) | ±(0.5+Lx/100) | ±(0.5+Lx/100) | ±(0.5+Lx/100) |
Z軸誤差(μm) | ±(1.2+2Lz/25) | ±(1.2+Lz/25) | ±(0.75+Lz/100) | ±(0.5+Lz/100) | ±(0.5+Lz/100) | ±(0.5+Lz/100) |
輪廓軟件功能 | ||||||
輪廓評(píng)價(jià) | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
直徑評(píng)價(jià) | - | - | ● | √ | √ | √ |
數(shù)控自動(dòng)測(cè)量 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
數(shù)控自動(dòng)評(píng)價(jià) | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
粗糙度功能 | ||||||
粗糙度 | - | - | ● | √ | √ | √ |
Dominant Ripple | - | - | ● | ● | ● | ● |
Robust Gaussian | - | - | ● | ● | ● | ● |
量程（Z/X） | - | - | 1.0/300 mm | 350/280 mm | 550/360 mm | 350/370 mm |
Ra范圍 | - | - | ≥0.1 μm | ≥0.05 μm | ≥0.1 μm | ≥0.05 μm |
Rz范圍 | - | - | ≥1.0 μm | ≥0.5 μm | ≥0.8 μm | ≥0.5 μm |
準(zhǔn)確性 | - | - | 5% MW | 5% MW | 5% MW | 5% MW |
測(cè)速 | - | - | 0.1 mm/s | 0.1-0.5 mm/s | ||
測(cè)力 | - | - | 7.5 mN | |||
備注 | √標(biāo)配，●選配，-沒有 | |||||
NW：標(biāo)準(zhǔn)值 | MW：測(cè)量值 | |||||
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